Drop Shape Analyzer

DSA100W

Automatische Analyse der Benetzbarkeit und Adhäsion von Wafern und anderen runden Proben

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Die Wafer-Konfiguration des DSA100 Drop Shape Analyzer ist auf die automatische, standardisierte Qualitätskontrolle von Wafer-Oberflächen und anderen runden Proben ausgerichtet. Das Instrument bestimmt präzise die Homogenität der Reinigung einer Oberfläche auf Basis des Kontaktwinkels. Es ermöglicht zudem die Charakterisierung von Beschichtungen, z. B. durch Unterschiede in der Benetzung von belichtetem und unbelichtetem Fotolack.

Anwendungsgebiete

Charakterisierung der Reinigungs- und Beschichtungshomogenität von Wafern
Bewertung der Adhäsion zwischen Wafer und Beschichtung
Benetzungsuntersuchung von belichtetem und unbelichtetem Fotolack
Ideal für die Analyse anderer runder Proben, z.B. Festplatten oder Bremsscheiben

Messmethoden

Kontaktwinkel eines Tropfens auf einer festen Oberfläche
Kontaktwinkel zweier parallel dosierter Tropfen
Automatische positionsabhängige Kontaktwinkelmessung und -auswertung
Kontaktwinkel anhand einer Blase unter einer festen Oberfläche in einer Flüssigkeit
Freie Oberflächenenergie eines Festkörpers anhand von Kontaktwinkeldaten
Oberflächenspannung anhand der Krümmung eines perfekt symmetrischen Tropfens auf einem kreisrunden Probenpodest
Abrollverhalten und Fortschreit-/Rückzugskontaktwinkel auf einer geneigten Oberfläche
Wiederholte Durchführung einer Messung bis zu 20 Mal mit Ergebnisübersicht
Fernsteuerung von ADVANCE zur Einbindung in anwenderspezifische, komplexe Automationen
Messung des Rückzugsabschlusswinkels zur Charakterisierung des Entnetzungsverhaltens

Messergebnisse

Statischer Kontaktwinkel
Fortschreit- und Rückzugs-Kontaktwinkel
Kontaktwinkel mithilfe einer Blase in einer Flüssigkeit
Freie Oberflächenenergie (SFE) nach folgenden Modellen: Owens-Wendt-Rabel-Kaelble (OWRK), Fowkes, Extended Fowkes, Van Oss & Good (Acid-Base), Schultz, Wu, Zisman, Equation of State
Positionsabhängiger Kontaktwinkel und SFE
Temperatur

Schnelle und automatische Analyse an beliebigen Position

Das Herzstück des DSA100W ist ein softwaregesteuerter Aufbau eines runden, rotierenden Probentisches, der auf einer horizontalen Achse montiert ist. Dank eines Vakuumanschlusses werden die Wafer sicher in Position gehalten. Mit dieser Anordnung kann jede Position auf dem Wafer schnell, automatisch und genau für die Messung des Kontaktwinkels erreicht werden.

Die Dosiereinheit erzeugt Tropfen mit präzise eingestelltem Volumen, wodurch exakt reproduzierbare Messbedingungen gewährleistet sind. Behutsames Absetzen des Tropfens und die dynamikkontrollierte Dosierung verhindern Messabweichungen durch ungewollte Vorbenetzung.

Software-gesteuerte Analyse der gesamten Probe

Die ADVANCE Software steuert die Messung anhand von standardisierten Messprozeduren vollautomatisch. Dabei werden zuvor definierte und gespeicherte Positionen nacheinander angefahren und vermessen. Das sorgt für einen schnellen und vollständig standardisierten Messablauf bei hohem Probendurchsatz.

Zuverlässige Tropfenkonturanalyse dank hoher Abbildungsqualität

Das DSA100W verfügt über eine hochauflösende Kamera und ein hochwertiges Zoomobjektiv für eine genaue Darstellung des Tropfens mit optimaler Größe. Die dadurch erzielte hohe Bildqualität führt zu einem präzise gemessenen Kontaktwinkel. In Kombination mit dem intelligenten Bildauswertealgorithmus der ADVANCE Software sorgt die Tropfenkonturanalyse mit dem Instrument für exakte Ergebnisse.

OPTIONAL

Liquid Needle Dosierung

Freie Oberflächenenergie in Sekunden

Mit der Liquid Needle ist die Kontaktwinkelmesstechnik perfekt ausgerüstet: in der Qualitässicherung wie für die Forschung und Entwicklung. Erfahren Sie mehr über die Ideen, mit denen die Liquid Needle Geschwindigkeit mit wissenschaftlicher Exzellenz verbindet.

Dosierautomatisierung auf höchstem Niveau

Statten Sie Ihr Instrument mit dem optionalen Dosing Hub aus, unserem Positionier- und Wechselsystem für bis zu drei flexibel kombinierbare Dosiereinheiten. Zusammen mit softwaregesteuerten Dosierlösungen leistet das System z. B. vollautomatische und schnelle Messungen der freien Oberflächenenergie mit bis zu vier Flüssigkeiten. Der Dosing Hub integriert auch temperierte Dosiereinheiten und andere Speziallösungen.

Zur Zubehörseite

Intuitive Software mit einer Workflow-orientierten Benutzeroberfläche
Schnelle und wiederholbare Analysen dank Messvorlagen und leistungsstarken Automationen
Überlegene Algorithmen für Bildanalysen sorgen auch bei schwierigen Bildern für präzise Ergebnisse
Eine breite Palette von Auswertungsmethoden macht ADVANCE zu einem zuverlässigen wissenschaftlichen Werkzeug